系列設備主要是(集)純離子鍍膜技術(PIC)、 高能離子束清洗技術(IONBEAM)和磁控濺射技術(SPUTTER)三種技術融合一體,可適應廣泛鍍膜靶材,無論金屬還是介質、化合材料都可以利用濺射工藝進行鍍膜及成膜,使膜層具有高致密度、超硬、耐磨損、耐腐蝕等特點??慑冎芓iN、TiC、TiCN、TiAlN、CrN、CU、AU、超級類金剛石膜(TAC、DLC)、裝飾膜等非金屬及其化合物的膜層和復合膜層??删幊绦蚩刂破鳎≒LC)+觸摸屏(HMI)組合電氣控制系統,全自動控制。
1、傳動裝置為水冷式:設計新穎、結構緊湊、系列間通用、互換性強;水冷式機座,散熱效果佳;滾動軸承及傳動齒輪可加潤滑油運行,使用壽命增長3-5倍;
2、旋轉裝置為行星旋轉機構、據鍍膜工藝不同,設計為:公轉式、公/自轉式;
3、采用氣動門鉸,自動鎖門,減少操作程序,增強真空門整體的密閉性及減少對橡膠密封圈的破壞性;
4、真空容器設計為新型結構,用戶可據自己的需求,升級為多功能鍍膜設備;
5、多弧離子部份采用先進鍍膜工藝技術,即可鍍制裝飾膜,也能鍍制功能膜,數道工藝,一次完成,極為先進科學;
6、智能控制:PLC智能控制+HMI全彩人機觸控界面,實現全自動控制;
7、報警及保護:異常情況進行報警,并執行相應保護措施。